Submillimeter Microparts Feeding Along With Asymmetric Surfaces Fabricated By Anisotropic Etching Process of Single-Crystal Silicon
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通过单晶硅各向异性蚀刻工艺制造的亚毫米级微型零件沿不对称表面进给
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Atsushi Mitani and Yasutaka Matsuo
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Enguo Cao;Yoshio Inoue;Kyoko Shibata;Tao Liu;Atsushi Mitani and Yasutaka Matsuo
