集束イオンビーム照射と化学エッチングを併用した極微細加工(第3報)-微細構造形成の高能率化-
集束イオンビーム照射と化学エッチングを併用した極微細加工(第3報)-微細構造形成の高能率化-
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结合聚焦离子束照射和化学蚀刻的超微细加工（第三次报告） - 微观结构形成的高效率 -
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
百田
中科院分区：
文献类型：
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作者：
深瀬;川堰;森田;高野;芦田;谷口;宮本;百田
