Low temperature formation of high-quality gate oxide by ultraviolet irradiation on spin-on-glass
Low temperature formation of high-quality gate oxide by ultraviolet irradiation on spin-on-glass
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旋涂玻璃上紫外照射低温形成高质量栅极氧化物
DOI：
10.1063/1.4935208
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
and S. Nozaki
中科院分区：
文献类型：
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作者：
R. Usuda;K. Uchida;and S. Nozaki
