Wide Controllability of Flatband Voltage by Tuning Crystalline Microstructures in Metal Gate Electrodes

Wide Controllability of Flatband Voltage by Tuning Crystalline Microstructures in Metal Gate Electrodes
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通过调节金属栅电极中的晶体微结构实现平带电压的宽可控性

DOI:
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发表时间:
2007
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
K. Yamada
K. Yamada
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
K. Ohmori;T. Chikyow;T. Hosoi;H. Watanabe;K. Nakajima;T. Adachi;A. Ishikawa;Y. Sugita;Y. Nara;Y. Ohji;K. Shiraishi;K. Yamabe;K. Yamada

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