Preparation of several kinds of elements mixed thin films by plasma process using powder targets III
Preparation of several kinds of elements mixed thin films by plasma process using powder targets III
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粉末靶材等离子体工艺制备多种元素混合薄膜Ⅲ
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
川崎仁晴
中科院分区：
文献类型：
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作者：
山城梨沙;三沢達也;作道章一;川崎仁晴;山城梨沙，三沢達也，作道章一;豊川 洋一，柳生 義人，作道 章一;川崎仁晴
