Development of Extreme Ultraviolet Radiation Source Using Laser Triggered Vacuum Spark Discharge Plasma
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激光触发真空火花放电等离子体极紫外辐射源的研制
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
E Hotta
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M. Watanabe;J. Yamada;Q. Zhu;E Hotta
