光ニードル顕微鏡法を用いた GaN 結晶内転位の高速 3 次元計測における空間分解能の検討
光ニードル顕微鏡法を用いた GaN 結晶内転位の高速 3 次元計測における空間分解能の検討
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使用光学针显微镜检查 GaN 晶体位错高速三维测量的空间分辨率
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
三浦 祐樹,土屋 裕祐,小澤 祐市,上杉 祐貴,佐藤 俊一
中科院分区：
文献类型：
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作者：
今村薫平;水上雄太;吉田悠生;橋本顕一郎;田中桜平;原澤龍平;栗田伸之;田中秀数;藤本聡;山田昌彦;村山陽奈子;笠原裕一;松田祐司;E. G. Moon;芝内孝禎;熊田高之;三浦 祐樹,土屋 裕祐,小澤 祐市,上杉 祐貴,佐藤 俊一
