逆解析手法による単結晶シリコン薄膜の高温クリープ三次元成形加工技術の確立
逆解析手法による単結晶シリコン薄膜の高温クリープ三次元成形加工技術の確立
复制标题
利用逆分析法建立单晶硅薄膜高温蠕变三维加工技术
DOI：
--
复制
发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
山本賢祐，中田悟史，菅野公二，磯野吉正
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
K. Osaka;S. Nakata;K. Yamamoto;T. Toyoda;K. Sugano;and Y. Isono;大坂憲司，中田悟史，山本賢祐，菅野公二，磯野吉正;山本賢祐，中田悟史，菅野公二，磯野吉正;山本賢祐，中田悟史，菅野公二，磯野吉正
