電気化学反応を利用した4H-SiC基板に対する触媒表面基準エッチング法の開発
電気化学反応を利用した4H-SiC基板に対する触媒表面基準エッチング法の開発
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利用电化学反应开发 4H-SiC 衬底催化剂表面蚀刻方法
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
礒橋藍
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Summers;D.;Y. Omura;S. Nakamura;and C. A. Kletzing;Takashi Sato;礒橋藍
