Sputter-Epitaxy of Sm-Doped Pb(Mg1/3, Nb2/3)O3-PbTiO3 on Si for Creation of Giant-Piezoelectric MEMS Actuator
Sputter-Epitaxy of Sm-Doped Pb(Mg1/3, Nb2/3)O3-PbTiO3 on Si for Creation of Giant-Piezoelectric MEMS Actuator
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Si 上溅射外延 Sm 掺杂 Pb(Mg1/3, Nb2/3)O3-PbTiO3 用于制造巨型压电 MEMS 致动器
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Shuji Tanaka
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Xuanmeng Qi;Shinya Yoshida;Shuji Tanaka
