Parylene 接合技術を用いた封止キャビティ構造を有するMEMS 光干渉型表面応力センサの製作・評価
Parylene 接合技術を用いた封止キャビティ構造を有するMEMS 光干渉型表面応力センサの製作・評価
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采用Parylene键合技术的MEMS光干涉型密封腔结构表面应力传感器的制作与评估
DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
高橋一浩
中科院分区：
文献类型：
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作者：
高橋利昌;崔 容俊;丸山 智史;瀧美樹;澤田和明;高橋一浩
