真空アーク陰極点の酸化膜除去時におけるO Iスペクトルと面積除去速度
真空アーク陰極点の酸化膜除去時におけるO Iスペクトルと面積除去速度
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真空电弧阴极点氧化膜去除过程中的O I谱和面积去除率
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
湯本雅恵
中科院分区：
文献类型：
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作者：
岩尾徹;山本真司;湯本雅恵
