Depth profile analysis of thin film by using glow discharge optical emission spectrometry (GD-OES)

Depth profile analysis of thin film by using glow discharge optical emission spectrometry (GD-OES)
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使用辉光放电发射光谱法 (GD-OES) 进行薄膜深度剖面分析

DOI:
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发表时间:
2007
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
K. Wagatsuma and S. C. Lee
K. Wagatsuma and S. C. Lee
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
H. Park;K. Wagatsuma and S. C. Lee

文献摘要

参考文献

被引文献

相似文献

DOI: --
发表时间: 1987
期刊: Nippon steel technical report. Overseas
影响因子: --
作者:
Ken;Kenichi. Suzuki;K. Nishizaka;T. Ohtsubo
通讯作者: T. Ohtsubo