Depth profile analysis of thin film by using glow discharge optical emission spectrometry (GD-OES)
Depth profile analysis of thin film by using glow discharge optical emission spectrometry (GD-OES)
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使用辉光放电发射光谱法 (GD-OES) 进行薄膜深度剖面分析
DOI:
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发表时间:
2007
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
K. Wagatsuma and S. C. Lee
中科院分区:
文献类型:
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作者:
H. Park;K. Wagatsuma and S. C. Lee
DOI:
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发表时间:
1987
期刊:
Nippon steel technical report. Overseas
影响因子:
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作者:
Ken;Kenichi. Suzuki;K. Nishizaka;T. Ohtsubo
通讯作者:
T. Ohtsubo