M. Hori and T. Goto: "High-Density Plasma and Its Application to Etching and Thin-Film Formation"Oyobuturi. Vol. 68. 1252-1257 (1999)
M. Hori and T. Goto: "High-Density Plasma and Its Application to Etching and Thin-Film Formation"Oyobuturi. Vol. 68. 1252-1257 (1999)
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M. Hori 和 T. Goto：“高密度等离子体及其在蚀刻和薄膜形成中的应用”Oyobuturi。
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