電気学会・マイクロ波プラズマ調査専門委員会編(分担執筆): "マイクロ波プラズマの技術"オーム社. 272 (2003)
電気学会・マイクロ波プラズマ調査専門委員会編(分担執筆): "マイクロ波プラズマの技術"オーム社. 272 (2003)
复制标题
日本电气工程学会微波等离子体研究专家委员会编（合着）：《微波等离子体技术》Ohmsha 272（2003）。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
