Hideki Matsumura et al.: "Low Temperature Formation of High‐Mobility Polysilicon TFT by cat‐CVD Method." Tech. Paper of AM‐LCD 95. 89-92 (1995)
Hideki Matsumura et al.: "Low Temperature Formation of High‐Mobility Polysilicon TFT by cat‐CVD Method." Tech. Paper of AM‐LCD 95. 89-92 (1995)
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Hideki Matsumura 等人：“采用 cat-CVD 方法低温形成高迁移率多晶硅 TFT”，AM-LCD 技术论文 95. 89-92 (1995)
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