Direct fine-patterning of PZT thin films using photosensitive gel films derived from chemically modified metal-alkoxides
Direct fine-patterning of PZT thin films using photosensitive gel films derived from chemically modified metal-alkoxides
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使用化学改性金属醇盐衍生的光敏凝胶膜直接对 PZT 薄膜进行精细图案化
DOI：
10.1023/a:1008916600407
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发表时间：
1999
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Yasuo Takama
中科院分区：
文献类型：
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作者：
N. Tohge;Yasuo Takama
