Wavelength Tuning of Double-Cavity Micromachined Filter with Electrical and Thermal Actuations
Wavelength Tuning of Double-Cavity Micromachined Filter with Electrical and Thermal Actuations
复制标题
利用电驱动和热驱动的双腔微机械滤波器的波长调谐
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
A. Matsutani and F. Koyama
中科院分区：
文献类型：
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作者：
W. Janto;A. Matsutani and F. Koyama
