リモートプラズマを用いたアルミナ室温原子層堆積プロセスと表面 反応過程評価
リモートプラズマを用いたアルミナ室温原子層堆積プロセスと表面 反応過程評価
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利用远程等离子体进行氧化铝室温原子层沉积工艺和表面反应工艺评估
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
鹿又 健作 パンシラ ポープンブン 大場 尚志 有馬 ボシールアハンマド 久保田 繁 平原 和弘 廣瀬文彦
中科院分区：
文献类型：
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作者：
秋元良裕;伊村くらら;新藤 斎;Yu-Huai Liao;鹿又 健作 パンシラ ポープンブン 大場 尚志 有馬 ボシールアハンマド 久保田 繁 平原 和弘 廣瀬文彦
