A role of ions in thin film deposition in a pulsed acrylic acid RF discharge
A role of ions in thin film deposition in a pulsed acrylic acid RF discharge
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脉冲丙烯酸射频放电中离子在薄膜沉积中的作用
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
N/a Voronin
中科院分区：
文献类型：
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作者：
N/a Voronin
