前駆体溶液及び炭化シリコンを含有する層、並びに、パワー半導体素子及びパワー半導体素子の製造方法
前駆体溶液及び炭化シリコンを含有する層、並びに、パワー半導体素子及びパワー半導体素子の製造方法
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包含前体溶液和碳化硅的层、功率半导体器件及其制造方法
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发表时间：
2015
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