表面部分窒化無酸素無炭素Ti 蒸着膜の排気速度測定と放射光ビームラインへの応用
表面部分窒化無酸素無炭素Ti 蒸着膜の排気速度測定と放射光ビームラインへの応用
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表面部分氮化无氧、无氧碳沉积Ti膜抽速测量及其在同步辐射束线中的应用
DOI：
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发表时间：
2023
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
間瀬一彦
中科院分区：
文献类型：
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作者：
菊地貴司;片岡竜馬;田中宏和;若林大佑;大東琢治;仁谷浩明;上園波輝;櫻井岳暁;間瀬一彦
