MEMSセンサーを使用した酸化シリコン自立薄膜の熱伝導率測定
MEMSセンサーを使用した酸化シリコン自立薄膜の熱伝導率測定
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使用 MEMS 传感器测量独立式氧化硅薄膜的热导率
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
濵村聡希,矢吹智英,Laurent Tranchant,宮崎康次
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Laurent Tranchant;Jose Ordonez-Miranda;Taihei Matsumoto; Sebastian Volz and Koji Miyazaki;濵村聡希,矢吹智英,Laurent Tranchant,宮崎康次
