低温ドライエッチングを用いたMethyl-BCN膜の特性評価
低温ドライエッチングを用いたMethyl-BCN膜の特性評価
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低温干法刻蚀甲基-BCN薄膜特性评价
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
杉野隆
中科院分区：
文献类型：
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作者：
原誠;増住拓朗;呂志明;青木秀充;木村千春;杉野隆
