Ar/N2 スパッタリングによる高品質 ZnO 膜の作製：基板温度の影響
Ar/N2 スパッタリングによる高品質 ZnO 膜の作製：基板温度の影響
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Ar/N2 溅射制备高质量 ZnO 薄膜：衬底温度的影响
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
板垣奈穂
中科院分区：
文献类型：
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作者：
村岡宗一郎; 岩崎和也;呂佳豪;山下大輔;徐鉉雄;古閑一憲;白谷正治;板垣奈穂
