Crystal Orientation of Epitaxial (110)α-Ta Thin Films Grown on (100) and (111)Si Substrates by Sputtering
Crystal Orientation of Epitaxial (110)α-Ta Thin Films Grown on (100) and (111)Si Substrates by Sputtering
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(100)和(111)Si衬底上溅射外延(110)α-Ta薄膜的晶体取向
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and Y. Abe
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M. Kudo;S. Shinkai;H. Yanagisawa;K. Sasaki;and Y. Abe
