T.Shibata; H.Kuwabara; T.Ohmi; T.Saito; T.Kiyota: "DC-RF Coupled Mode Bias Sputtering" Proc. VLSI Ultra Clean Technology Symposium No.4, "High Performance Processing Technologies,". 181-202 (1987)
T.Shibata; H.Kuwabara; T.Ohmi; T.Saito; T.Kiyota: "DC-RF Coupled Mode Bias Sputtering" Proc. VLSI Ultra Clean Technology Symposium No.4, "High Performance Processing Technologies,". 181-202 (1987)
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T.柴田;
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