Etching and micro-optics fabrication in diamond using chlorine inductively-coupled plasma
Etching and micro-optics fabrication in diamond using chlorine inductively-coupled plasma
复制标题
使用氯感应耦合等离子体对金刚石进行蚀刻和微光学制造
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
Chee-Leong Lee (Co-Author)
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Chee-Leong Lee (Co-Author)
