Development of array-type atmospheric-pressure RF plasma generator with electric on-off control for high-throughput numerically controlled processes
Development of array-type atmospheric-pressure RF plasma generator with electric on-off control for high-throughput numerically controlled processes
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开发用于高通量数控工艺的具有电开关控制的阵列型常压射频等离子体发生器
DOI：
10.1063/1.4964656
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发表时间：
2016
影响因子：
1.6
通讯作者：
Y. Sano
中科院分区：
文献类型：
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作者：
H. Takei;S. Kurio;S. Matsuyama;K. Yamauchi;Y. Sano
