石垣隆正, 大橋直樹, 羽田肇, 作田忠裕: "パルス変調高周波誘導プラズマの発生と材料プロセスへの応用"材料の科学と工学. 40巻1号. 2-6 (2003)

Takamasa Ishigaki、Naoki Ohashi、Hajime Hada、Tadahiro Sakuta：“脉冲调制高频感应等离子体的产生及其在材料过程中的应用”《材料科学与工程》第 40 卷，第 1. 2-6 期（2003 年）。