原子層堆積法を用いた Co 成膜 Si 光学系の開発
原子層堆積法を用いた Co 成膜 Si 光学系の開発
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使用原子层沉积法开发Co膜形成的Si光学系统
DOI：
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发表时间：
2023
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
関口るな，村川貴俊，山口和馬，石川怜，森本大輝，山田裕大，満田和久
中科院分区：
文献类型：
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作者：
辻雪音，伊師大貴，福島碧都，江副祐一郎，石川久美，沼澤正樹，稲垣綾太，上田陽功，森下拓海;関口るな，村川貴俊，山口和馬，石川怜，森本大輝，山田裕大，満田和久
