白谷 正治: "Formation processes of Particulates in Helium-Diluted silane RF Plasma" IEEE Trans.Plasma Sci.22. 103-107 (1994)
白谷 正治: "Formation processes of Particulates in Helium-Diluted silane RF Plasma" IEEE Trans.Plasma Sci.22. 103-107 (1994)
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Masaharu Shiratani：“氦稀释硅烷 RF 等离子体中颗粒的形成过程”IEEE Trans.Plasma Sci.22 (1994)。
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