Effect of Underetching on Thermal Conductivity Measurement of Suspended Nanofilm

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底蚀对悬浮纳米膜热导率测量的影响

DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
Japanese Journal of Applied Physics Vol.48,No.5
影响因子：
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通讯作者：
Xing Zhang
Xing Zhang
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
Yohei Ito;Koji Takahashi;Tatsuya Ikuta;Xing Zhang

文献摘要

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