Novel Metal Electrodeposition and the Application toward MEMS Device
Novel Metal Electrodeposition and the Application toward MEMS Device
复制标题
新型金属电沉积及其在MEMS器件中的应用
DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and H. Kurosu
中科院分区：
文献类型：
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作者：
W.-T. Chiu;C.-Y. Chen;T.-F. M. Chang;T. Hashimoto;and H. Kurosu
