クライオ標的のレーザーアブレーションによる基板損傷軽減に関する研究

クライオ標的のレーザーアブレーションによる基板損傷軽減に関する研究
复制标题

低温靶材激光烧蚀减少基底损伤的研究

DOI:
--
复制
发表时间:
2022
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
高山健
高山健
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:
松原直暉;長谷川純;高橋一匡;田村潤;堀岡一彦;高山健

文献摘要

相似文献