クライオ標的のレーザーアブレーションによる基板損傷軽減に関する研究
クライオ標的のレーザーアブレーションによる基板損傷軽減に関する研究
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低温靶材激光烧蚀减少基底损伤的研究
DOI:
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发表时间:
2022
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
高山健
中科院分区:
文献类型:
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作者:
松原直暉;長谷川純;高橋一匡;田村潤;堀岡一彦;高山健