Numerical Modeling of Gas Flow in Atomic Layer Deposition (ALD) Process: a Comparative Study of Lattice Boltzmann Models
Numerical Modeling of Gas Flow in Atomic Layer Deposition (ALD) Process: a Comparative Study of Lattice Boltzmann Models
复制标题
原子层沉积 (ALD) 过程中气体流动的数值模拟：格子玻尔兹曼模型的比较研究
DOI：
--
复制
发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
Chris yuan
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Dongqing Pan;Tao li;Tien Chien Jen;Chris yuan
