Y.Inoue, T.Komoguchi, H.Nakata and O.Takai: "XPS Study on Sn-doped DLC Films Prepared by RF Plasma-enhanced CVD" J.Korean Inst.of Surf.Eng.29. 519-524 (1996)

Y.Inoue, T.Komoguchi, H.Nakata and O.Takai: "XPS Study on Sn-doped DLC Films Prepared by RF Plasma-enhanced CVD" J.Korean Inst.of Surf.Eng.29. 519-524 (1996)
复制标题

Y.Inoue、T.Komoguchi、H.Nakata 和 O.Takai:“通过 RF 等离子体增强 CVD 制备的 Sn 掺杂 DLC 薄膜的 XPS 研究”J.Korean Inst.of Surf.Eng.29。

DOI:
--
复制
发表时间:
--
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
--
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:

文献摘要

相似文献