M.Esashi,: "High-rate Directional Deep Dry Etching for Bulk Silicon Micromachining" Journal of Micromechanics and Microengineering,5,1. 1-6 (1995)
M.Esashi,: "High-rate Directional Deep Dry Etching for Bulk Silicon Micromachining" Journal of Micromechanics and Microengineering,5,1. 1-6 (1995)
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M.Esashi，：“体硅微加工的高速定向深度干蚀刻”微机械与微工程杂志，5,1。
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