Surface modification of silicon related materials using a catalytic CVD system for ULSI applications
Surface modification of silicon related materials using a catalytic CVD system for ULSI applications
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使用适用于 ULSI 应用的催化 CVD 系统对硅相关材料进行表面改性
DOI：
10.1016/s0040-6090(01)01268-8
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发表时间：
2001
期刊：
影响因子：
2.1
通讯作者：
A. Izumi
中科院分区：
文献类型：
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作者：
A. Izumi
