安井利明: "永久磁石による電子サイクロトロン共鳴放電を用いたCH_4/H_2プラズマの成膜への応用" 真空. 40・3. (1997)
安井利明: "永久磁石による電子サイクロトロン共鳴放電を用いたCH_4/H_2プラズマの成膜への応用" 真空. 40・3. (1997)
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安井俊明：“利用永磁体的电子回旋共振放电将 CH_4/H_2 等离子体应用于成膜”真空 40・3。
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