Gettering Centres for Metals and Oxygen Formed in MeV-Ion-Implanted and Annealed Silicon
Gettering Centres for Metals and Oxygen Formed in MeV-Ion-Implanted and Annealed Silicon
复制标题
DOI：
10.4028/www.scientific.net/ssp.69-70.235
复制
发表时间：
1999-08
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
R. Kögler;A. Peeva;W. Anwand;P. Werner;A. Danilin;W. Skorupa
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
R. Kögler;A. Peeva;W. Anwand;P. Werner;A. Danilin;W. Skorupa
