超精密形状計測加工システム－ダイヤモンド切削工具の機上ナノ計測－
超精密形状計測加工システム－ダイヤモンド切削工具の機上ナノ計測－
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超精密形状测量加工系统-金刚石刀具在机纳米测量-
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
高偉
中科院分区：
文献类型：
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作者：
清水裕樹;陳遠流;張城豪;伊東聡;高偉
