形状測定用静電気力顕微鏡の周波数ドリフトの補正に関する研究
形状測定用静電気力顕微鏡の周波数ドリフトの補正に関する研究
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静电力显微镜形状测量频率漂移校正研究
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
賈志剛,細渕啓一郎,伊東聡,清水裕樹,高偉
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Y.Song;Y.Ju;Y.Morita;B.Xu;G.Song;林 照剛，石崎佑樹，道畑正岐，高谷裕浩，田中慎一;賈志剛,細渕啓一郎,伊東聡,清水裕樹,高偉
