堀池 靖浩他: "Excimer Laser Enhanced Reactive lon Etching" Proc.of Laser Advenced Material Processing. 1159-1164 (1992)
堀池 靖浩他: "Excimer Laser Enhanced Reactive lon Etching" Proc.of Laser Advenced Material Processing. 1159-1164 (1992)
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Yasuhiro Horiike 等人：“准分子激光增强反应蚀刻”，激光先进材料加工 1159-1164 (1992)。
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