電子線の侵入長の違いを用いた走査型電子顕微鏡による3次元構造観察

電子線の侵入長の違いを用いた走査型電子顕微鏡による3次元構造観察
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使用不同电子束穿透长度的扫描电子显微镜观察三维结构

DOI:
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发表时间:
2019
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
居波 渉
居波 渉
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
中村竣亮;川田善正;居波 渉

文献摘要

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