Figuring of ultraprecision aspherical focusing mirror using numerically controlled local wet etching
Figuring of ultraprecision aspherical focusing mirror using numerically controlled local wet etching
复制标题
数控局部湿法刻蚀超精密非球面聚焦镜
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
H. Takai
中科院分区：
文献类型：
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作者：
K. Yamamura;H. Takai
