N.Tohge and Y.Takama: "Direct Fine-Patterning of PZT Thin Films Using Photosensitive Gel Films Derived from Chemically Modified Metal-Alkoxides"J.Mater.Sci. : Mater.Electron.. 10. 273-277 (1999)

N.Tohge and Y.Takama: "Direct Fine-Patterning of PZT Thin Films Using Photosensitive Gel Films Derived from Chemically Modified Metal-Alkoxides"J.Mater.Sci. : Mater.Electron.. 10. 273-277 (1999)
复制标题

N.Tohge 和 Y.Takama:“使用化学改性金属醇盐衍生的光敏凝胶膜直接对 PZT 薄膜进行精细图案化”J.Mater.Sci。

DOI:
--
复制
发表时间:
--
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
--
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:

文献摘要

相似文献