シリコンの疲労メカニズムの描像を目的としたSEM内疲労試験の試み
シリコンの疲労メカニズムの描像を目的としたSEM内疲労試験の試み
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尝试在 SEM 中进行疲劳测试，旨在描绘硅的疲劳机制
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
平井隆太郎,梅原徳次,月山陽介,泉隼人,神谷庄司
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Masatoshi Ogawa;Shoji Kamiya;Hayato Izumi Yutaka Tokuda;神谷庄司,池田祐介,石川正芳,泉隼人ジョアオガスパー,オリバーポール;平井隆太郎,梅原徳次,月山陽介,泉隼人,神谷庄司
