マイクロ複雑形状の超精密機上計測におけるプローブ姿勢の決定に関する研究
マイクロ複雑形状の超精密機上計測におけるプローブ姿勢の決定に関する研究
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微小复杂形状超精密在机测量中测头位姿确定研究
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
竹内芳美
中科院分区：
文献类型：
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作者：
田村拓哉;馬場慎之佑;中本圭一;竹内芳美
