オゾン／紫外光援用ウエット研磨法の開発－マイクロバブルの効果－
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臭氧/紫外线辅助湿式抛光方法的开发 - 微泡的作用 -
DOI：
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发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
久保田章亀
中科院分区：
文献类型：
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作者：
久保田章亀
